MEMS,即微机电系统,是将微传感器、微执行器等微型机械组件集成在微电子电路上,构架三维立体结构芯片的半导体技术。根据测量对象的不同,MEMS 传感器分为环境传感器、力学传感器、声学传感器和光学传感器四类,并衍生出众多细分品类。MEMS 和传感器的发展超越了人类感官的极限,具备了超声波、超光谱能力。批量生产的硅基 MEMS 传感器具备高性能、低制造成本的特点,更好地满足了下游的商业化应用。根据 Yole Development 发布的统计数据,2019 年全球 MEMS 的三大终端应用市场分别为消费电子、汽车和工业,整体市场规模突破 115 亿美元,增长率为 7.4%。
来源:艾瑞咨询